Micro Sensors and Actuators
Last Updated Date 2022-04-11
- Course Sorts:Talent Cultivation Project for intelligence network technology and application / Project of Development on RISC-V Course
- Course Introduction:
課程模組:
章節內容
1. 基礎元件製程技術
2. 微機電慣性感測技術
3. 射頻微機電技術
4. 電化學感測技術
5. 表面電漿共振式光學感測技術
章節內容
1. 基礎元件製程技術
2. 微機電慣性感測技術
3. 射頻微機電技術
4. 電化學感測技術
5. 表面電漿共振式光學感測技術