感測與致動元件設計
最後更新日期 2022-04-11
- 課程分類:106-109智慧聯網技術與應用人才培育計畫 ／ RISC-V課程發展計畫(109)
- 課程簡介:
課程模組:
章節內容
1. 基礎元件製程技術
2. 微機電慣性感測技術
3. 射頻微機電技術
4. 電化學感測技術
5. 表面電漿共振式光學感測技術
章節內容
1. 基礎元件製程技術
2. 微機電慣性感測技術
3. 射頻微機電技術
4. 電化學感測技術
5. 表面電漿共振式光學感測技術